多晶硅項目生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的含氯有機廢液，廢液經(jīng)焚燒爐充分燃燒，焚燒產(chǎn)生的煙氣經(jīng)余熱鍋爐回收熱能并經(jīng)過(guò)除塵脫酸處理后排放到大氣，同時(shí)還可以回收高濃度的氯化氫溶液；含氟項目生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的含氟有機廢液，廢液經(jīng)焚燒爐充分燃燒，焚燒產(chǎn)生的煙氣經(jīng)余熱鍋爐回收熱能并經(jīng)過(guò)除塵脫酸處理后排放到大氣，同時(shí)還可以回收高濃度的氟化氫溶液。
焚燒爐特點(diǎn)：
（1）焚燒爐本體采用立式爐結構，可以減少爐本體的占地面積，同臥式爐相比，立式爐結構改變了耐火材料的受力狀況，完全避免了耐火材料在高溫情況下可能出現的爆裂和坍塌現象。
（2）焚燒爐本體采用立式爐結構，底部設有沉降室，使得焚燒過(guò)程中產(chǎn)生的部分SiO2等粉塵能夠在爐本體內收集，減少煙氣帶出的粉塵量，減少后續設備的壓力。
（3）爐體燃燒根據3T1E（溫度、時(shí)間、渦流、過(guò)剩系數）原則設計，確保廢液在爐本體燃燒室內充分氧化、熱解、燃燒，使有機物破壞去除率達到99.99%以上。
（4）廢液和助燃空氣在焚燒爐內切向混合，其混合程度好、湍流度高、燃燒速度及效率極高，過(guò)�？諝庀禂档�，可節約燃料。
（5）爐體整體溫度分布為低-高-低，頂部燃燒陶瓷部處于相對低溫部800℃左右可較好地保護各個(gè)燒嘴。延長(cháng)燒嘴使用壽命。
（6）安全性高-設有啟動(dòng)前不排除易爆氣體就不能點(diǎn)火的功能，以防氣爆，爐內設有火焰檢知器，一旦爐內發(fā)生熄火或點(diǎn)火失敗，立即自動(dòng)切斷廢液供給，報警系統完善，安全可靠。
（7）為確保系統安全，在爐體內設有度明燈性質(zhì)的小型燃燒器，避免廢液進(jìn)料時(shí)因可能出現的不穩定，而產(chǎn)生突然熄火，后又起火的現象，最大限度杜絕氣爆現象發(fā)生。
（8）所有進(jìn)料管路設有氮氣吹掃系統確保整個(gè)系統不殘留可燃氣體，確保系統安全。
（9）采用多項先進(jìn)技術(shù)，使設備簡(jiǎn)化，易于維修，并降低了運行成本。
（10）充分考慮廢液焚燒后的廢熱利用，可產(chǎn)生蒸汽供生產(chǎn)使用。
（11）充分考慮廢液焚燒后回收高濃度的酸溶液（濃度可達20%-25%）。
（12）同時(shí)可以處理含氯（氟）廢氣。
適用范圍：
1、多晶硅項目及其他含氯有機物生產(chǎn)項目；
2、氟化工及其他含氟有機物生產(chǎn)項目。